中國已經成為IC廠商圓夢的熱土，2004年中國集成電路產量達到211億塊，銷售額達到545.3億元，比2003年增長55.2%，成為全球集成電路產業發展最快的地區之一。而作為IC產業支撐的半導體設備業也將隨之水漲船高，有業內人士預測，未來10年內我國半導體設備市場將超過200億美元。 


　　國產設備：在期盼中成長 

　　中國電子專用設備工業協會的資料顯示，2004年我國半導體專用設備行業(不包括國外廠商在國內設廠組裝的企業)的銷售額為4.23億元，比2003年增長了67%。而據SEMI(中國)最新報道，2004年中國在半導體設備方面的投資為全球的8%，即28億美元。兩個數字放在一起，令人觸目驚心。 

　　業內人士告訴記者，經過多年的發展，國產半導體設備行業已經取得了很不錯的成績：在半導體前道工序用擴散爐、快速熱處理設備，清洗機、勻膠顯影設備等；后道工序中的劃片機、塑封機、部分模具等；材料制備設備中的單晶爐、研磨機、拋光機，部分凈化設備和試驗設備，其中一些國產設備已經日漸成熟，并且已經有設備被用到國內集成電路生產線中。 

　　盡管如此，國產設備進入國內大生產線仍然很難，因為集成電路產業發展太快，設備還沒用舊，產品就更新換代了，國內半導體設備企業跟不上市場變換的節奏，因此集成電路生產線幾乎被國外廠商的產品壟斷。為此，七星華創微電子設備公司副總經理盛金龍呼吁，國內的集成電路大生產線要用國內的設備，給國內設備企業一些機會。當然，前提是要加強國內各設備生產企業的開發能力，不斷開發新工藝設備，以滿足生產線的需要。 

　　在采訪過程中，很多業內人士都提出，國家應該在政策、資金、關稅等方面對國產半導體設備行業有所傾斜：系統研究振興我國半導體和集成電路專用裝備制造業的有關政策；鼓勵國內裝備制造企業、專用裝備用戶企業和資金進入半導體和集成電路專用裝備制造業；在稅收上應給予和國外進口設備同樣的條件，如進口設備免關稅，那么國產設備生產所用零部件進口也應實行零關稅。 

　　國外廠商：中國市場收獲忙 

　　中國半導體市場良好的發展態勢，對全球半導體業有著重要的作用和貢獻，國外半導體設備生產廠商忙著在中國市場布局也就不足為奇了。有關市場調研公司的分析報告顯示，2004年中國市場半導體制造設備采購額大增了146%。 

　　近年來，中國半導體市場對高端設備和先進技術的需求逐漸增長，這一特點在2004年表現尤為突出。作為東京精密(Accretech)本地化公司，東精精密設備(上海)有限公司副總經理周雅萍認為，國際上知名的半導體生產廠陸續在中國建立生產基地，加速了國內半導體生產制作技術的提升，中國客戶對半導體設備的需求也發生了很大變化。周雅萍說：“在幾年前，客戶要求價格便宜工藝簡單的設備，通常客戶感興趣的設備為東京精密生產的低端產品。隨著國內客戶半導體生產工藝水平的提升，國內客戶對先進的生產設備需求不斷增加。” 

　　對于先進技術，中國市場與歐美市場的需求是相同的。對此諾發(Novellus)公司亞太區運營高級副總裁Chen Fusen認為，為了迎接IC制造方面的挑戰，設備制造商需要擴展其現有設備的生產能力和設備的使用壽命，假如沒有出眾的技術，要在一兩個制造節點的平臺可延伸性方面領先通常是不可能的。他說：“在美國和歐洲那些成熟的市場的確是這樣，在中國這樣新出現的市場也不例外。在去年12月，Novellus把第一臺SABRE300mm銅電鍍設備裝運到一家領先的中國代工廠。” 

　　此外，國外廠商針對中國市場的合作與服務也逐漸加強。去年3月，美國AVIZA公司宣布與我國最大的半導體設備制造商七星華創合作，在中國當地生產AVIZA的熱處理設備和淀積系統。 

　　面對國內市場對半導體設備要求的變化，Accretech公司也將適時轉變公司的營銷策略。周雅萍介紹說，今年Accretech的工作重點主要是提高產品的售后服務質量，保證快速的備件供應。Accretech的本地服務隊伍也相應地進行了擴大。愛德萬測試(蘇州)有限公司ATE事業部總經理森屋裕一說：“目前愛德萬測試在國內的服務體系和質量與其他海外分公司相比毫不遜色，這是提供中國第一支持服務的強大基礎。” 

　　對于2005年及今后的市場，各大廠商各執一詞，但無論如何，中國市場仍將是這些國際半導體設備廠商的重要戰略市場。