當(dāng)前微電子技術(shù)仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎(chǔ)定律走下去，在逼近傳統(tǒng)硅技術(shù)極限中，不斷擴(kuò)展硅的跨學(xué)科橫向應(yīng)用(如MEMS等)和更先進(jìn)應(yīng)用(量子、分子器件)。而上述微電子技術(shù)的兩大發(fā)展方向正是當(dāng)前乃至未來20年傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向。
　　幾十年來，微電子技術(shù)促進(jìn)了傳感器技術(shù)的發(fā)展。因此，全行業(yè)必須樹立創(chuàng)新意識，大力加強(qiáng)新型傳感器的開發(fā)，提高產(chǎn)品的性價比，加快科研成果的轉(zhuǎn)化，加快新型傳感器的產(chǎn)業(yè)化，迅速提高國產(chǎn)傳感器的市場占有率。
　　目前，我國傳感器行業(yè)規(guī)模較小，應(yīng)用范圍較窄。為此，我們亟須轉(zhuǎn)變觀念，將傳感器的研發(fā)由單一物性型傳感器的研發(fā)，轉(zhuǎn)化為高度集成的新型傳感器研發(fā)。新型傳感器的開發(fā)和應(yīng)用已成為現(xiàn)代系統(tǒng)的核心和關(guān)鍵，它將成為21世紀(jì)信息產(chǎn)業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。品種規(guī)格已有近6000種。
　　我國早在20世紀(jì)60年代就開始涉足傳感器制造業(yè)。我國在1972年組建成立中國第一批壓阻傳感器研制生產(chǎn)單位；1974年，研制成功中國第一個實(shí)用壓阻式壓力傳感器；1978年，誕生中國第一個固態(tài)壓阻加速度傳感器；1982年，國內(nèi)最早開始硅微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工技術(shù)和SOI(絕緣體上硅)技術(shù)的研究。
　　進(jìn)入20世紀(jì)90年代后，硅微機(jī)械加工技術(shù)的絕對壓力傳感器、微壓傳感器、呼吸機(jī)壓傳感器、多晶硅壓力傳感器、低成本TO-8封裝壓力傳感器等相繼問世并實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)。
　　改革開放30年來，我國傳感器技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)取得了長足進(jìn)步，主要表現(xiàn)在：建立了傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室、微米/納米國家重點(diǎn)實(shí)驗室、國家傳感技術(shù)工程中心等研究開發(fā)基地；MEMS、MOEMS(微光機(jī)電系統(tǒng))等研究項目列入了國家高新技術(shù)發(fā)展重點(diǎn)；在“九五”國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項目中，傳感器技術(shù)研究取得了51個品種86個規(guī)格新產(chǎn)品的成績，初步建立了敏感元件與傳感器產(chǎn)業(yè)；2007年傳感器業(yè)總產(chǎn)量達(dá)到20.93億只，品種規(guī)格已有近6000種，并已在國民經(jīng)濟(jì)各部門和國防建設(shè)中得到一定應(yīng)用。
　　我國在20世紀(jì)80年代末就將傳感器列入國家高新技術(shù)發(fā)展的重點(diǎn)，經(jīng)過“八五”、“九五”和“十五”的攻關(guān)和產(chǎn)業(yè)化建設(shè)，目前全國已有2000多家企事業(yè)單位從事傳感器的研制、生產(chǎn)和應(yīng)用。由于經(jīng)濟(jì)發(fā)展水平和生產(chǎn)研發(fā)資金的限制，我國傳感器行業(yè)總體技術(shù)水平還是相對比較落后的，規(guī)模和應(yīng)用領(lǐng)域都較小。今天活躍在國際市場上的仍然是德國、日本、美國、俄國等老牌工業(yè)國家的企業(yè)。在這些國家里，傳感器的應(yīng)用范圍很廣，許多廠家的生產(chǎn)都實(shí)現(xiàn)了規(guī)模化，有些企業(yè)的年生產(chǎn)能力達(dá)到幾千萬只甚至幾億只。相比之下，中國傳感器的應(yīng)用范圍較窄，更多的應(yīng)用仍然停留在工業(yè)測量與控制等基礎(chǔ)應(yīng)用領(lǐng)域。

(源自：中華機(jī)械網(wǎng))